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半导体器件设备-硅片清洗甩干机

价        格:20万元/台      立即购买
有 效 期: 长期有效
所 在 地: 北京市通州区
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供应数量:不限
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详细说明

半导体器件设备-硅片清洗甩干机

型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB一、 功能: 1. 把工件放入硅片盒中,再放在旋转支架上。 2. 双手按住启动按钮,油缸自动盖上顶盖, 3. 油缸上的感应门锁到位后,显示门锁住。顶盖的喷杆开始喷纯净水,外筒排水,筒内不允许有积水,同时旋转支架开始转动,目前转速为低速(转速一),且可以人为的设定。(目前工艺:200/分,2分钟)。清洗的时间可以根据需要调整。 4. 清洗结束,顶部的喷杆停止喷,开始喷加热的氮气,边喷边加热。加热的温度分为高温和低温。加热的时间可以人为设定,油浴炉的温度为110度,温度设定可以显示器上修改。(目前工艺:500/分,6分钟)。加热采用油浴炉加热,加热介质为乙二醇,加热温度控制在120度以下。辅助加热系统热量足够保证顶盖打开时没有水滴下。 5. 烘干后,自动关闭电源,电机停转。油缸自动打开门盖,取出硅片盒,拿出工件检验。 6. 整个洗和甩干的时间控制在8分钟内完成。二 电气系统: 1)采用变频器调速,使速度变换稳定。 2)采用PLC控制使所有的操作可靠,所有的故障都一目了然。 3)程序设计可靠,能够满足上述功能要求,并且有报警提示。有需求此方面设备的朋友,欢迎来电咨询:
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